蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。有的真空泵不能在---压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
真空度低，这不仅是因为受到结构上的---，干式真空泵，更重要的是受工作液饱和蒸气压的---。用水作工作液，---压强只能达到2000~4000pa。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，真空泵安装，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，浙江真空泵，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。
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