随着真空技术在应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，真空泵，互相补充才能满足抽气要求。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。
结构紧凑，电子行业真空泵，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。为了使用方便和真空工艺过程的需要，真空泵批发，将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。真空系统指低于该地区---压的稀簿气体状态。
蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，真空泵生产厂，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。有的真空泵不能在---压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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