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检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中---、产生和维持真空的装置。真空泵在其工作压强下，电子真空泵，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，真空泵公司，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。

蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。